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  ? ? AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只要確定粒徑及個數(shù)，但對AMC控制而言，除了受芯片線寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及園片傳送系統(tǒng)等的影響，較有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物，而園片加工工序當(dāng)前已多于3多個獨立工序，對AMC控制指標(biāo)的確定較是復(fù)雜。I

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  ? 施工現(xiàn)場可以看作是一個綜合性的生產(chǎn)車間，其對環(huán)境的影響是多元的，其生產(chǎn)的能耗等也是社會所關(guān)注的焦點?？偟膩碚f施工現(xiàn)場控制環(huán)保節(jié)能，一定要從以下幾方面先入手:1、現(xiàn)場主要道路采用硬化路面，場區(qū)采取灑水、保持濕潤無揚塵產(chǎn)生。2、挖土、清理等易產(chǎn)生揚塵的活動應(yīng)避開六級以上大風(fēng)天氣。3、樓層清理時，必須先灑水再清理，防止粉塵飛揚。4、現(xiàn)場主要道路硬化，保持場區(qū)清潔，不污染車輪從施工現(xiàn)場開出的

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  ?? ? LPC長袋脈沖袋式除塵器主要由上箱體，中箱體，灰斗，卸灰系統(tǒng)，噴吹系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等幾部門除塵配件組成，并采用下進氣分室結(jié)構(gòu)。含塵煙氣由進風(fēng)口經(jīng)中箱體下部進入灰斗；部門較大的塵粒因為慣性碰撞，**沉降等作用直接落入灰斗，其它塵粒隨氣流上升進入各個袋室.經(jīng)濾袋過濾后，塵粒被阻留在濾袋外側(cè)，凈化后的氣體由濾袋內(nèi)部進入箱體，再通過晉升閥，出風(fēng)口排入大氣。灰斗中的粉塵