掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設(shè)計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。

時間：2022-10-21作者：上海銳放自控技術(shù)有限公司瀏覽：312

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• 詞條

  詞條說明

• 用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。

  nanomotion用于半導(dǎo)體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時以上定位穩(wěn)定性達(dá)到1nm。

• 運動控制器的功能

  運動規(guī)劃功能實際上是形成運動的速度和位置的基準(zhǔn)量。合適的基準(zhǔn)量不但可以改善軌跡的精度，而且其影響作用還可以降低對轉(zhuǎn)動系統(tǒng)以及機(jī)械傳遞元件的要求。通用運動控制器通常都提供基于對沖擊、加速度和速度等這些可影響動態(tài)軌跡精度的量值加以限制的運動規(guī)劃方法，用戶可以直接調(diào)用相應(yīng)的函數(shù)。對于加速度進(jìn)行限制的運動規(guī)劃產(chǎn)生梯形速度曲線；對于沖擊進(jìn)行限制的運動規(guī)劃產(chǎn)生S形速度曲線。一般來說，對于數(shù)控機(jī)床而言，采用加速

• 光柵尺的概念

  ? ? ? 光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應(yīng)速度快的特點。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償?shù)毒叩倪\動誤差的作用。光柵尺按照制

• GALIL運動控制卡簡介

  GALIL運動控制卡是基于PC和工業(yè)PC的上位控制單元，用于各種運動控制場合(包括位移、速度、加速度等)。 GALIL運動控制卡是基于PC總線，利用高性能微處理器(如DSP)和大規(guī)?？删幊唐骷瑢崿F(xiàn)多臺伺服電機(jī)多軸協(xié)調(diào)控制，包括脈沖輸出、脈沖計數(shù)、數(shù)字輸入、數(shù)字輸出、D/A輸出等功能的一種高性能步進(jìn)/伺服電機(jī)galil運動控制卡。它可以發(fā)出連續(xù)而頻繁的脈沖串，通過改變發(fā)送脈沖的頻率來操作以GALI