詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
潤(rùn)滑油在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì),還對(duì)機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤(rùn)滑、冷卻和密封作用。這是真空泵油的重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤(rùn)滑油,對(duì)于擴(kuò)散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤(rùn)滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很*氧化分解,尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫
【上海國(guó)產(chǎn)真空泵】真空泵溫度高的原因分析及對(duì)策
真空泵溫度高的原因,真空泵電機(jī)溫度高的原因?以下是對(duì)真空泵電機(jī)溫度高的原因分析:?1原因分析?(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。?(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。?(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。?(4)電動(dòng)機(jī)附有灰塵、油污,降低了散熱能力。?(5)真空泵電機(jī)所在母線(xiàn)電壓為380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機(jī)實(shí)際
潤(rùn)滑油在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì),還對(duì)機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤(rùn)滑、冷卻和密封作用。這是真空泵油的重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤(rùn)滑油,對(duì)于擴(kuò)散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤(rùn)滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很*氧化分解,尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫
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