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詞條說明
葉片安裝方法:1、真空泵葉片的安裝。不論是我司生產(chǎn)的真空泵葉片還是進(jìn)口真空泵葉片,在沒有技術(shù)人員指導(dǎo)下,自行安裝時(shí)一定要正確,避免真空泵葉片斷裂或在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中安裝不好導(dǎo)致軸承卡死,造成泵體磨損的真空度不足等情況發(fā)生。2、葉片的區(qū)分。市面上的真空泵葉片材質(zhì)有鋁合金、合金鋼、玻璃纖維樹脂、銻樹脂石墨葉片。其功能都是一樣的,但不同材質(zhì)導(dǎo)致的性能又不一樣。(1)使用金屬材質(zhì)的葉片噪音相對于樹脂葉片和碳片較
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
便宜的用旋片式真空泵串接擴(kuò)散泵即可.泵的抽速選擇,由真空室大小以及真空確定.一般是兩臺旋片式真空泵+一臺擴(kuò)散泵組成.一臺旋片式真空泵直抽真空室,另一臺抽擴(kuò)散泵.當(dāng)真空室到5Pa以下,并且擴(kuò)散泵預(yù)熱后,切換到擴(kuò)散泵抽真空室.因?yàn)閿U(kuò)散泵有冷阱,所以泵油不會污染真空室.假如有錢,就用分子泵代替擴(kuò)散泵.不用預(yù)熱.并且徹底無油.
真空泵氣鎮(zhèn)閥的作用:是在排氣發(fā)生之前向泵的排氣腔充入一定量空氣,以降低排氣壓力中的蒸汽分壓力,當(dāng)它泵溫下的飽和蒸汽壓時(shí),即可隨充入氣體排出泵外,而避免凝結(jié)在泵油中。另外,當(dāng)密閉泵口運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),已混入油內(nèi)的可凝性氣體的凝結(jié)物或氣相就會溶于油中的物質(zhì),又會在泵腔內(nèi)從油中逸出,這時(shí)如果開氣鎮(zhèn)工作,也可抽除一定量的可凝性物質(zhì),從而起到一定凈化作用,延長泵油的使用期。在結(jié)構(gòu)上,氣鎮(zhèn)閥有一逆止閥,防止排氣時(shí)油、氣
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